产品用途:
产品广泛应用于半导体生产、PCB行业、工业测量、医疗技术、材料类等行业的分析与研究,
为用户提供从微米到纳米一直到亚纳米级别的全套解决方案。
性能优势:
1.操作简便–Optibeam模式,快速切换较高分辨率、较大视场6mm或景深;
2.**大束流,景深的分析能力;
3.**大样品室,能处理的样品尺寸可达200-300mm直径和100-210mm高–满足大样品的观察需求 ;
4.全自动5轴优中心马达台–具有大的移动范围和较高的重复精度;
5.X射线几何设计技术–具有业界良好的8.5mm(35°出射角)的分析工作距离;
6.对于非导电样品,采用BeamSleeve电子束衬管技术 可有效 提高图像分辨率和能谱分析精度;
7.关联显微镜–叠加光镜与电镜图像,得到更多信息,分辨率、颜色、 成分;
8.标配高性能的背散射电子探测器 BSD,增强低电压性能及提供更丰富的形貌信息 。
Specitications规格参数 | ||
序号 | 项目 | 规格、参数 |
1 | 分辨率 | 3 nm@ 30 kV - SE |
2 | 加速电压范围 | 0.2-30kV, 10V步进 |
3 | 放大倍率 | 7 - 1,000,000 x(底片倍率) |
4 | 束流 | 0.5pA–5uA |
5 | X射线几何条件 | EDS分析工作距离为8.5mm,出射角度35° |
6 | 操作模式 | 具有OptiBeam模式,分为分辨率、高景深、大视野,模式之间不需人工调节参数,可自由转换 |
7 | 样品室大小 | 310mm (Ø) x 220mm (h) |
8 | 样品台 | 5轴优中心样品台 X =80mm Y=100mm Z = 35mmT = -10 - 90° R = 360° (continuous) |
9 | 样品台精度 | 2um |
10 | 试样较大直径 | 200mm |
11 | 试样较大高度 | 100mm |
12 | 样品室CCD相机 | 标配原厂CCD相机 |
13 | 关联显微镜 | 可实现蔡司光镜与电镜的**结合,利用光镜方便定位的特点,在电镜下可*找到感兴趣部位,以后皆可拓展 |