产品用途:
可用于半导体、PCB板、汽车部件等产品表面镀层测试。
性能优势:
1.良好的元素分辨率,*二次滤波器
2.峰位长时间保持稳定
3.*频繁进行校准
4.可以测量更小的面积,更多层的镀层,更薄的镀层厚度,测量数据非常稳定
5.操作简单,可按需求自定义测量报告机报告可以一键生成(PDF或CSV等格式)
6.智能输出格式可以将测试位置图片全部输出,便于观察和分析
7、测量精度高,稳定性强,SDD和Si-PIN探测器可以选择。
Specitications规格参数 | ||
项次 | 项目 | 规格/技术参数 |
1 | 测量方向 | 从上往下 |
2 | 外形尺寸 | 450x450x600 mm |
3 | 辐射剂量 | 符合国家X射线装置豁免管理规定 |
4 | X射线源 | X射线管(W靶微聚焦光管),50KV, 0.1mA |
5 | 可调高压 | 20~50kv 连续可调 |
6 | 基本滤波片 | 4个Al滤波器 |
7 | 准直器 | 四个, Ø 0.1mm 、Ø 0.2mm、Ø 0.3mm、Ø 0.6mm |
8 | X射线 | Amptek Si-PIN ,分辨率 139~190eV FWHM |
9 | 视频显微镜 | 高分辨CCD彩色相机 |
10 | 放大倍数 | 倍率30X |
11 | 聚焦 | 自动激光聚焦 |
12 | 可同时测量镀层数量 | 4层 |
13 | Z轴行程 | 135mm |
14 | 可测试样品较大面积 | 600x600mm |
15 | 可测试样品较大重量 | 10 kg |
16 | 样品仓内较大样品高度 | 开槽高度15mm,仓内较大样品高度140mm |
17 | 测试时间 | 40~120S,用户可根据镀层结构和精度要求进行调整,建议40以上 |
18 | 计算机配置&软件 | I5处理器, 8G RAM, 500G固态硬盘,显示器采用21英寸,操作系统采用简体Windows 10专业版;Bowman Xralizer V3.0.5 |